羅茨泵維修時(shí)關(guān)于極限真空是其的重要參數(shù)之一，其含義是在嚴(yán)密封閉泵的入口時(shí)，經(jīng)較長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)所能達(dá)到的高真空度。因常用壓力表示，故又稱極限壓力。從特性曲線中可以看出，當(dāng)羅茨泵達(dá)到極限真空時(shí)，通過泵入口的正向氣流量為零，即泵的實(shí)際抽速為零。如果與前級(jí)真空串聯(lián)工作，由于氣流連續(xù)性，此時(shí)前級(jí)泵也同時(shí)達(dá)到極限真空。